[인포스탁데일리=박상인 기자] SK머티리얼즈가 초고순도(99.999%) 불화수소 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다. 반도체 제조에 쓰이는 초고순도 불화수소 가스는 지난해 일본이 한국을 상대로 수출규제한 품목이다.
SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 뒤 경북 영주 공장 내 15t 규모의 생산시설을 건설했다. 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 목표다.
SK머티리얼즈는 또 다른 일본 수출규제 품목이었던 포토레지스트 개발에도 나섰다. 최근에는 하드마스크(SOC)와 불화아르곤(ArF) 포토레지스트를 개발 중이다.
특히 ArF 포토레지스트는 해외 의존도가 90%에 달하는 고부가 제품이다. SK머티리얼즈 관계자는 “제품 양산을 본격화하면 국내 반도체 제조사들에 안정적 공급이 가능할 것”이라며 “2022년부터 연 5만갤런 규모의 생산을 목표로 하고 있다”고 말했다.
SK실트론도 지난해 미국 듀폰으로부터 전기차 필수 소재인 전력 반도체용 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼 사업을 인수해 국산화에 나선 바 있다. SiC 웨이퍼는 미국·유럽 등 소수 업체가 과점한 시장이다.
이와 함께 SK그룹은 소재 국산화 과정에서 확보한 역량을 중소기업 상생 협력으로 연결해 국내 반도체 생태계를 강화 중이다. SK하이닉스는 4000억원 규모의 상생펀드를 조성해 협력사들에 저금리 융자를 제공하고 있다.
SK그룹 관계자는 “투자비나 전문인력 확보 측면에서 어려움을 겪는 중소기업에 SK가 보유한 노하우를 공유해 업계 전체가 발전하도록 도울 것”이라며 “상생 협력으로 국내 반도체 산업 경쟁력을 높이고 고용 창출에도 기여하겠다”고 말했다.
박상인 기자 si2020@infostock.co.kr
