[인포스탁데일리=노성인 인턴기자] 테스는 반도체 제조 장비에 사용되는 ‘탄소계 액체 전구체’ 특허를 취득했다고 26일 공시했다.
테스 측은 “나노 다이아몬드 파우더가 혼합된 단일 액체 전구체를 사용해 탄소막의 응력과 흡광계수를 기존보다 낮출 수 있다”며 “기판의 증착 공정을 단순화해 탄소막 증착을 위한 비용을 절감하고, 생산성을 현저히 향상할 수 있다”고 설명했다.
테스는 반도체 및 태양전지 제조에 필요한 장비를 생산하는 업체다.
노성인 인턴기자 bluesky3230@infostock.co.kr
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