ASML, 반도체 장비 EUV에 이어 DUV 중국 수출길 막힌다
ASML, 반도체 장비 EUV에 이어 DUV 중국 수출길 막힌다
  • 서동환 기자
  • 승인 2023.07.03 13:03
  • 최종수정 2023.07.03 12:59
  • 댓글 0
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사진=ASML 본사 네덜란드 펠트호번, ASML 홈페이지
사진=ASML 본사 네덜란드 펠트호번, ASML 홈페이지

[인포스탁데일리=서동환 기자] 네덜란드가 대중국 반도체 장치 수출 규제에 동참한다.

반도체 설계 기업인 ASML이 중국에 대한 수출 규제에 참여하면서 중국은 극자외선(EUV) 노광장비에 이어 심자외선(DUV) 장비 수급도 어려움을 겪을 전망이다.

2일(현지시각) 로이터 등 외신에 따르면 네덜란드 정부는 자국 반도체 장비를 수출할 경우 정부 허가를 받도록 의무화한다. 이번 조치는 오는 9월 1일부터 시행된다.

네덜란드 정부의 이번 조치는 안보 이익을 지키는 차원의 규제라고 설명했지만, 사실상 대중국 수출 규제로 해석되고 있다.

해당 매체는 규제 대상 장비와 업체에 대한 구체적인 발표는 없었으나, 반도체 노광장비 제조기업 ASML이 생산하는 DUV 노광장비가 포함됐을 것이라고 보도했다.

변운지 하나증권 연구원은 “DUV 장비 중에서도 선단 공정에서 사용되는 Immersion DUV(TWINSCAN NXT:2000i 등) 장비는 중국으로 판매시 정부의 허가가 필요할 것”이라면서 “다만, 중국 레거시 공정에 대한 수요는 여전히 견조할 것으로 예상되고, 그 이유는 EV(전기차) 시장 확대로 28, 45나노 공정 팹 증설이 필하고, 이에 따라 미드엔드와 레거시 공정 수요가 증가할 것으로 예상되기 때문”이라고 말했다.

ASML의 수주 잔고 중 증국향 비중은 전체 매출의 20%, DUV 장비내 45%이다.

ASML EUV 리소그라피 장비
ASML EUV 리소그라피 장비

앞서 지난 2019년 네덜란드 정부는 ASML EUV 노광장비 대중국 수출을 금지한 바 있다. 올해 3월에는 그동안 수출을 허용했던 DUV 노광장비에 대한 규제를 예고했다.

미국 정부는 지난해 10월 중국에 대한 자국 첨단 반도체와 장비 수출 통제 규제를 발표한 바 있다.

로이터에 따르면 미국 정부가 예전보다 낮은 비율의 미국산 부품이 들어간 다른 외국 기업 제품까지 수출 승인을 받도록 할 방침이라며 이르면 7월 말 새 규정이 발표될 것이라고 밝혔다.

ASML 노광장비에도 미국산 제품이 일부 사용되는 것으로 전해져 수출 제한에 포함된 것이다.

이에 대해 중국 측은 강력히 반발하고 나섰다. 중국은 수출 통제 조치에 남용하지 말고, 양국 기업과 쌍방의 공동 이익을 효과적으로 보호하고, 글로벌 반도체 산업망과 공급망 안정을 유지해야 한다고 촉구했다.

 

서동환 기자 oensh1@infostock.co.kr


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