[인포스탁데일리=이형진 선임기자•이동희 기자] 삼성전자가 최첨단 공정인 EUV(극자외선•노광장비) 전용 반도체공장을 준비 중인 것으로 확인됐다.
23일 삼성전자와 관련업계 등에 따르면 삼성전자는 5월 중으로 삼성전자 평택캠퍼스 P3 공장 부지에 EUV 전용 반도체공장 착공하는 계획을 최근 확정했다.
EUV는 반도체의 재료인 웨이퍼에 빛을 쬐 반도체 회로를 형성시키는 설비로 현재 네덜란드 반도체 장비 회사인 ASML에서 유일하게 생산한다. 1대당 단가가 1500억∼2000억원 수준으로 10나노 이하 미세공정을 위해서는 EUV가 필수다.
EUV 전용 반도체 생산공장이 들어설 삼성전자 평택캠퍼스에는 P1공장과 P2 공장이 자리하고 있다.
P1공장 1층에 낸드플래시가 생산되고 있고 공장 2층에는 D램과 낸드플래시를 동시 생산하고 있다. 남는 공간에는 나머지 설비를 올해 안 전부 채울 예정이다.
또 바로 옆 P2 공장에는 올 초부터 관련 생산설비들이 들어가고 있으며 이르면 올 하반기부터 낸드플래시와 D램을 생산한다는 계획이다.
삼성전자는 EUV 공정 전용반도체 공장 증설에는 일단 부인했다. 삼성전자 한 관계자는 "P3 착공과 관련해서는 확정된 바 없다"고 말했다.
이형진 선임기자 magicbullet@infostock.co.kr
이동희 기자 nice1220@infostock.co.kr
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