[단독] 삼성전자, 내년 1월 '레이저어닐링'기술 적용 16나노 D램 양산
[단독] 삼성전자, 내년 1월 '레이저어닐링'기술 적용 16나노 D램 양산
  • 이동희 기자
  • 승인 2019.10.10 11:13
  • 최종수정 2019.11.04 13:55
  • 댓글 0
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레이저어닐링 장비.(자료사진=인포스탁데일리DB)
레이저어닐링 장비.(자료사진=인포스탁데일리DB)

[인포스탁데일리=이동희 기자] 삼성전자가 5세대 이동통신(5G) 시대의 가장 주요한 반도체로 꼽히는 16나노 D램의 수율을 확보한 것으로 확인됐다. 

또, 양산되는 16나노 D램은 레이저어닐링 공정(GAP FILL)이 세계최초로 적용되는 것으로 전해졌다.   

10일 삼성전자와 업계에 따르면, 삼성전자는 이르면 내년 1월부터 16나노 D램을 양산한다. 양산될 16나노 D램은 생산 전(前)공정에는 세계최초로 레이저어닐링 기술이 적용된다.

삼성전자 내부사정에 밝은 복수의 관계자는 “내부적으로 레이저어닐링 공정이 적용돼 생산된 16나노 D램의 내부적 생산 출하승인이 이달 초 떨어졌다”며 “생산 출하승인이 떨어졌다는 것은 3개월 뒤부터 양산이 시작될 수 있다는 것을 의미한다”고 말했다. 

삼성전자가 생산 전(前)공정 7개 라인에 적용할 레이저어닐링 장비는 열처리업체 A사에서 단독 공급하는 것으로 확인됐다. 

장비업체 A사는 지난 7월 국회에서 열린 더불어민주당 일본경제침략대책특별위원회에 초대돼, 기술독립 대표기업들 중 하나로 소개된 바 있다.

다만, 삼성전자 측은 제품 개발과 양산 일정과 관련해 "확인해 주기 어렵다"고 말했다. 

 

이동희 기자 nice1220@infostock.co.kr


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