이재용 부회장 네덜란드 출장 마치고 귀국...ASML과 협력 논의
이재용 부회장 네덜란드 출장 마치고 귀국...ASML과 협력 논의
  • 박상인 기자
  • 승인 2020.10.14 10:47
  • 최종수정 2020.10.20 13:20
  • 댓글 0
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[인포스탁데일리=박상인 기자] 이재용 삼성전자 부회장이 지난 13일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 찾아 피터버닝크(Peter Wennink) CEO, 마틴 반 덴 브링크(Martin van den Brink) CTO 등을 만나 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력 강화 방안을 논의했다고 삼성전자가 14일 밝혔다.

이 부회장이 신종 코로나바이러스 감염증(코로나19) 여파로 중단했던 글로벌 현장 경영을 재개한 것은 지난 5월 중국 시안 반도체 공장방문 이후 5개월 만이다.

이 자리에서 이 부회장과 버닝크 CEO는 ▲7나노 이하 최첨단 반도체 생산에 필수적인 EUV 장비 공급계획및 운영 기술 고도화 방안 ▲인공지능(AI) 등 미래 반도체를 위한 차세대 제조기술 개발협력 ▲코로나19 사태 장기화에 따른 시장 전망 및 포스트 코로나19 대응을 위한 미래 반도체 기술 전략 등에 대한 의견을 나눴다.

이재용 삼성전자 부회장이 13일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 찾아 EUV 장비를 살펴보는 모습 [사진=삼성전자]

이 부회장은 이날 ASML의 반도체 제조장비 생산공장도 방문해 EUV 장비 생산 현황을 직접 살펴보기도 했다.

이 부회장은 지난 2016년 11월에 삼성전자를 방문한 버닝크 CEO 등 ASML 경영진을 만나 차세대 반도체 미세 공정 기술에 관한 협력방안을 논의한 바 있다. 2019년 2월에도 프랑스 파리에서 만나 반도체 산업에 대한 의견을 나누기도 했다.

삼성전자는 차세대 반도체 구현을 위해 EUV 기술이 필요하다는 판단 아래 2000년대부터 ASML과 초미세 반도체 공정 기술 및 장비 개발을 위해 협력하고 있다. 2012년에는 ASML에 대한 전략적 지분 투자를 통해 파트너십을 강화했다.

EUV 노광 기술은 극자외선 광원을 사용해 웨이퍼에 반도체 회로를 새기는 기술이다. 기존 기술보다 세밀한 회로 구현이 가능해 AI·5세대(5G) 이동통신·자율주행 등에 필요한 최첨단 고성능·저전력·초소형 반도체를 만드는데 필수적인 기술로 꼽힌다.

삼성전자와 ASML은 EUV 관련 기술적 난제 해결을 위해 초기부터 ▲EUV에 최적화된 첨단 반도체 소재 개발 ▲장비 생산성 향상 ▲성능 개선 등 다양한 분야에서 협력을 이어 오고 있다.

박상인 기자 si2020@infostock.co.kr


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